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特許情報
発明の名称
半導体装置及びその製造方法
発明者
岩井洋
,
筒井一生
, Parhat AHMET,
角嶋邦之
, 松元 道一, 奥野 泰利, 久保田 正文, 上田 誠二.
種別
特許
状態
公開
出願人
国立大学法人東京工業大学, 松下電器産業 株式会社.
出願日
2006/05/30
出願番号
特願2006-149763
公開日
2007/12/13
公開番号
特開2007-324187
備考
権利譲渡
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.