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特許情報


発明の名称
半導体成長用基板および半導体膜の製造方法 
発明者
青柳克信, 川崎宏治, 武内道一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 独立行政法人理化学研究所, 株式会社トクヤマ.  
出願日
2004/12/24
出願番号
特願2004-374976
公開日
2006/07/13
公開番号
特開2006-185962

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