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特許情報


発明の名称
薄膜基板の製造方法 
発明者
松本祐司, 石井　誉, 鯉沼　秀臣.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社信光社, 独立行政法人科学技術振興機構.  
出願日
2006/03/17
出願番号
特願2006-073731
公開日
2007/09/27
公開番号
特開2007-246354
備考
審査未請求取下

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