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特許情報


発明の名称
酸化亜鉛機能膜の製造方法及び該方法により得られる酸化亜鉛機能膜 
発明者
瀬川浩代, 林　年治, 泉　礼子.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱マテリアル株式会社.  
出願日
2007/03/19
出願番号
特願2007-070566
公開日
2008/10/02
公開番号
特開2008-230878
登録日
2012/01/20
登録番号
特許第4906550号

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