Home >

news ヘルプ

特許情報


発明の名称
マスキング機構及びそれを備えた成膜装置 
発明者
鯉沼秀臣, 松本祐司, 伊高　健治, 片山　正士.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 独立行政法人科学技術振興機構.  
出願日
2004/08/30
出願番号
特願2004-251151
公開日
2006/03/09
公開番号
特開2006-063433

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.