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特許情報


発明の名称
レーザーリフトオフ法およびレーザーリフトオフ装置 
発明者
川崎宏治, 青柳克信, 歌野　和弘.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 西進商事株式会社.  
出願日
2005/11/28
出願番号
特願2005-342734
公開日
2007/06/14
公開番号
特開2007-149988
登録日
2011/12/16
登録番号
特許第4883991号

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