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特許情報


発明の名称
ナノ構造物の作製装置及び方法 
発明者
村田智, 染井　康太郎.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2005/06/03
出願番号
特願2005-164203
公開日
2006/12/14
公開番号
特開2006-334741

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