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特許情報


発明の名称
結晶性ケイ素薄膜の製造方法 
発明者
伊原学, 澤木　大悟.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2006/05/02
出願番号
特願2006-128620
公開日
2007/11/15
公開番号
特開2007-300028

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