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特許情報


発明の名称
ブラックレジスト用感放射線性組成物 
発明者
柿本雅明, 篠原 宣康.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, JSR株式会社.  
出願日
2004/08/17
出願番号
特願2004-237448
公開日
2006/03/02
公開番号
特開2006-058385
備考
審査未請求取下

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