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特許情報


発明の名称
炭化珪素半導体装置の製造方法 
発明者
徳光永輔, 日野　史郎, 加藤　潤, 三浦　成久.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2007/08/16
出願番号
特願2007-212141
公開日
2009/03/05
公開番号
特開2009-049099
登録日
2012/08/31
登録番号
特許第5072482号

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