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特許情報


発明の名称
ペロブスカイト型酸化物質薄膜の成膜方法および積層体 
発明者
篠崎和夫, 高　鉉龍, 脇谷尚樹, 木口賢紀, 近藤　正雄, 丸山　研二.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 富士通株式会社.  
出願日
2007/09/11
出願番号
特願2007-236002
公開日
2009/04/02
公開番号
特開2009-070926

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