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特許情報


発明の名称
発振素子、及び検査装置 
発明者
浅田雅洋, 関口　亮太, 尾内　敏彦.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.  
出願日
2007/08/20
出願番号
特願2007-213644
公開日
2009/03/05
公開番号
特開2009-049692

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