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特許情報


発明の名称
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一, 後藤 優, 永田 洋一, 熊谷 航, 目黒 太一, 中島 尚紀.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2007/09/28
出願番号
特願2007-253796
公開日
2009/04/23
公開番号
特開2009-082796

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