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特許情報


発明の名称
かご型シルセスキオキサン構造を含む重合体とそれを含むネガ型レジスト材料 
発明者
柿本雅明, 早川晃鏡, 石田　良仁, 木前　洋一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, チッソ株式会社.  
出願日
2008/03/10
出願番号
特願2008-060175
公開日
2009/09/24
公開番号
特開2009-215423

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