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特許情報


発明の名称
微小構造体並びに微小螺旋構造体の製造方法 
発明者
彌田智一, 鎌田香織, 山田　厚, 鵜澤　幸一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2008/03/17
出願番号
特願2008-067365
公開日
2009/10/01
公開番号
特開2009-221149
登録日
2013/01/18
登録番号
特許第5176232号

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