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特許情報


発明の名称
半導体装置及びその製造方法 
発明者
石原宏, スシル　クマル　シン, 鉾　宏真, 杉山　芳弘.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 富士通株式会社.  
出願日
2008/03/18
出願番号
特願2008-069338
公開日
2009/10/01
公開番号
特開2009-224668

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