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特許情報


発明の名称
化合物半導体薄膜の製造方法、太陽電池および化合物半導体薄膜製造装置 
発明者
山田明, 和田　隆博, 山添　誠司.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 学校法人龍谷大学.  
出願日
2010/09/03
出願番号
特願2010-198000
公開日
2011/09/22
公開番号
特開2011-187920

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