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特許情報


発明の名称
電界効果型トランジスタの製造方法 
発明者
細野秀雄, 野村研二, 神谷 利夫, 藪田 久人, 佐野 政史, 岩崎 達哉.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.  
出願日
2005/11/09
出願番号
特願2005-325369
公開日
2006/06/22
公開番号
特開2006-165531
登録日
2012/11/09
登録番号
特許第5126730号

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