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特許情報
発明の名称
電界効果型トランジスタの製造方法
発明者
細野秀雄
,
野村研二
, 神谷 利夫, 藪田 久人, 佐野 政史, 岩崎 達哉.
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.
出願日
2005/11/09
出願番号
特願2005-325369
公開日
2006/06/22
公開番号
特開2006-165531
登録日
2012/11/09
登録番号
特許第5126730号
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