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特許情報


発明の名称
プラズマ生成用ガスおよびプラズマ生成方法並びにこれにより生成された大気圧プラズマ 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一, 佐々木　良太.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, プラズマファクトリー株式会社.  
出願日
2011/06/08
出願番号
特願2011-128588
公開日
2012/12/27
公開番号
特開2012-256501

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