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特許情報


発明の名称
膜材料の欠陥の光学的観察方法および装置 
発明者
大竹尚登, 櫻田　悠一, 高島　舞, 松尾　誠, 岩本　喜直.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社iMott.  
出願日
2011/12/01
出願番号
特願2011-263944
公開日
2013/06/13
公開番号
特開2013-117398
登録日
2016/01/29
登録番号
特許第5874139号

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