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特許情報


発明の名称
半導体装置の製造方法 
発明者
徳光永輔, 原田　裕一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本電信電話株式会社.  
出願日
2012/07/20
出願番号
特願2012-161322
公開日
2014/02/03
公開番号
特開2014-022631
登録日
2015/10/23
登録番号
特許第5825683号

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