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特許情報


発明の名称
ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法 
発明者
波多野睦子, 岩崎孝之, 加藤 宙光, 牧野 俊晴, 小倉 政彦, 竹内 大輔, 山崎 聡.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 独立行政法人産業技術総合研究所.  
出願日
2012/08/17
出願番号
特願2012-180956
公開日
2014/02/27
公開番号
特開2014-038953

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