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特許情報
発明の名称
液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法、及びパターン形成方法
発明者
彌田智一
,
小村元憲
,
佐藤浩行
, 増田 一之 , 村田 和広 .
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社SIJテクノロジ.
出願日
2013/12/09
出願番号
特願2013-254279
公開日
2015/06/22
公開番号
特開2015-113356
登録日
2018/03/30
登録番号
特許第6311962号
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