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特許情報


発明の名称
管状体内にプラズマを発生させる発生装置  
発明者
大竹尚登, 井上雅貴.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2014/02/06
出願番号
特願2014-021338
公開日
2015/08/20
公開番号
特開2015-147974

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