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特許情報


発明の名称
半導体装置及びその製造方法 
発明者
大場隆之.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2014/02/28
出願番号
特願2014-039730
公開日
2015/09/10
公開番号
特開2015-164160
登録日
2018/11/30
登録番号
特許第6440291号

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