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特許情報
発明の名称
酸化亜鉛膜の製造方法
発明者
松下伸広
,
清野裕斗
.
種別
特許
状態
公開
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社トーキン(旧名称:NECトーキン㈱).
出願日
2015/10/16
出願番号
特願2015-204489
公開日
2017/04/20
公開番号
特開2017-075077
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