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特許情報


発明の名称
３次元デバイスおよび３次元デバイスを製造する方法 
発明者
大場隆之, 菅谷　慎二　.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社アドバンテスト.  
出願日
2019/12/25
出願番号
特願2019-234428
公開日
2021/07/15
公開番号
特開2021-103735
登録日
2023/12/15
登録番号
特許第7403765号

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