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特許情報


発明の名称
電子顕微鏡収差補正レンズおよびその作製法、ならびに作製装置 
発明者
三宮工, ソーラ・ザック　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, Ｎ－ＥＭラボラトリーズ株式会社.  
出願日
2020/03/30
出願番号
特願2020-072563
公開日
2021/10/11
公開番号
特開2021-161531

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