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特許情報


発明の名称
珪化物系合金薄膜及びその製造方法 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 青山航大, 召田　雅実　, 秋池　良　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東ソー株式会社.  
出願日
2020/09/18
出願番号
特願2020-157537
公開日
2022/03/31
公開番号
特開2022-051194

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