スパッタリング法で作製した高Sc濃度ScGaN膜の圧電・強誘電特性

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法で作製した高Sc濃度ScGaN膜の圧電・強誘電特性
English:

Author

Japanese:	上原雅人, 平田研二, 中村美子, 安岡慎之介, スリアユアンガライニ, 岡本一輝, 山田浩志, 舟窪浩, 秋山守人.
English:	上原雅人, 平田研二, 中村美子, Shinnosuke Yasuoka, スリアユアンガライニ, Kazuki Okamoto, 山田浩志, HIROSHI FUNAKUBO, 秋山守人.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 22, 2024

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第71回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: