エキシマレーザーアニールによる酸化鉄バッファー層上Ga2O3薄膜の急速固相エピタキシー

Publication Information

Title

Japanese:	エキシマレーザーアニールによる酸化鉄バッファー層上Ga2O3薄膜の急速固相エピタキシー
English:

Author

Japanese:	甲斐稜也, 伊藤新, 金子智, 松田晃史.
English:	Ryoya Kai, Arata Ito, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 3, 2024

Publisher

Japanese:	日本セラミックス協会
English:	The Ceramic Society of Japan

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会第37回秋季シンポジウム
English:	The Ceramic Society of Japan The 37th Fall Meeting

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya