Fe2O3バッファー層を用いた紫外レーザーアニーリングによるα-Al2O3(0001)基板上Ga2O3薄膜のエピタキシャル固相結晶化

Publication Information

Title

Japanese:	Fe2O3バッファー層を用いた紫外レーザーアニーリングによるα-Al2O3(0001)基板上Ga2O3薄膜のエピタキシャル固相結晶化
English:

Author

Japanese:	甲斐稜也, 沼田拓実, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
English:	Ryoya Kai, Takumi Numata, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 5, 2024

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第71回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 71st JSAP Spring Meeting

Conference site

Japanese:	東京都世田谷区
English:	Tokyo