不純物ドープ非晶質Ga2O3薄膜へのエキシマレーザー照射による室温固相結晶化と照射条件が与える構造・特性への影響

Publication Information

Title

Japanese:	不純物ドープ非晶質Ga2O3薄膜へのエキシマレーザー照射による室温固相結晶化と照射条件が与える構造・特性への影響
English:

Author

Japanese:	沼田拓実, 甲斐稜也, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Takumi Numata, Ryoya Kai, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 5, 2024

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	熊本県熊本市
English:	Kumamoto