薄膜化した (Al1-xScx)N膜における結晶性・強誘電特性のSc組成比依存性

Publication Information

Title

Japanese:	薄膜化した (Al1-xScx)N膜における結晶性・強誘電特性のSc組成比依存性
English:

Author

Japanese:	道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, Nana Sun, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.
English:	Soshun Doko, 松井尚子, 入澤寿和, KOJI TSUNEKAWA, Nana SUN, 中村美子, Kazuki Okamoto, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 14, 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第72回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	千葉県野田市
English: