反応性高周波熱プラズマ反応器の数値解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	反応性高周波熱プラズマ反応器の数値解析
英文:	Numerical Simulations of a Reactive RF Thermal Plasma Reactor under Reduced Pressure

著者

和文:	渡辺隆行, 神沢淳, 石垣隆正, 守吉佑介.
英文:	TAKAYUKI WATANABE, 神沢淳, 石垣隆正, 守吉佑介.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	高温学会誌
英文:	Journal of High Temperature Society

巻, 号, ページ

Vol. 20 No. 4 pp. 169-177

出版年月

1994年7月

出版者

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会議名称

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開催地

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