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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD法による(100)Pt/(100)MgO基板上のPZT薄膜の合成とその性質 
英文:Preparation of PZT Film on (100) Pt/(100) MgO Substrate by CVD and Its Properties 
著者
和文: 水谷惟恭.  
英文: NOBUYASU MIZUTANI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会学術論文誌 
英文:J. Ceram. Soc. Japan 
巻, 号, ページ Vol. 102    No. 2    pp. 128-132
出版年月 1994年 
出版者
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会議名称
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開催地
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