Composition Control of pb(Zv┣D21┫D2Ti)O┣D23┫D2 Films Prepared by CVD From Pb(DPM)┣D22┫D2-Zr (O-t-C┣D24┫D2H┣D29┫D2)┣D24┫D2-Ti(O-i-C┣D23┫D2H┣D27┫D2)┣D24┫D2-O┣D22┫D2 System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Composition Control of pb(Zv┣D21┫D2Ti)O┣D23┫D2 Films Prepared by CVD From Pb(DPM)┣D22┫D2-Zr (O-t-C┣D24┫D2H┣D29┫D2)┣D24┫D2-Ti(O-i-C┣D23┫D2H┣D27┫D2)┣D24┫D2-O┣D22┫D2 System

著者

和文:	水谷惟恭.
英文:	NOBUYASU MIZUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Chem.Vap.Deposition

巻, 号, ページ

Vol. 2 No. 3 pp. 218-228

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: