Nanocrystalline silicon dot displacement using speed-controlled tapping-mode atomic force microscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanocrystalline silicon dot displacement using speed-controlled tapping-mode atomic force microscopy

著者

和文:	S. Kanjanachuchai, Y. Tsuchiya, K. Usami, S. Oda.
英文:	S. Kanjanachuchai, Y. Tsuchiya, K. Usami, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 73-74 pp. 615-619

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: