Fracture Toughness Measurement of a Micro-Sized Single Crystal Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fracture Toughness Measurement of a Micro-Sized Single Crystal Silicon

著者

和文:	S. Koyama, K. Takashima, Y. Higo.
英文:	S. Koyama, K. Takashima, Y. Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts for Asian Pacific Conference for Fracture and Strength '04

巻, 号, ページ

pp. 144

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: