The Effect of Processing for MEMS upon the Strength of PMMA

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Effect of Processing for MEMS upon the Strength of PMMA

著者

和文:	Timothy Paul Halford, Chiemi Ishiyama, Kazuki Takashima, Yakichi Higo.
英文:	Timothy Paul Halford, Chiemi Ishiyama, Kazuki Takashima, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第53回高分子討論会予稿集
英文:	53rd SPSJ Symposium on Macromplecules

巻, 号, ページ

Vol. 53 No. 2 pp. 3Pc081

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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