Effects of Wet Cleaning Treatment on Dose of Impurity after Plasma Doping

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Wet Cleaning Treatment on Dose of Impurity after Plasma Doping

著者

和文:	Takahisa Sato, Ryota Higaki, Hideki Tamura, Yuichiro Sasaki, Bunji Mizuno, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.
英文:	Takahisa Sato, Ryota Higaki, Hideki Tamura, Yuichiro Sasaki, Bunji Mizuno, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 34^th^ Europian Solid-State Device Research Conference (ESSDERC2004

巻, 号, ページ

pp. 149-152

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: