High Temperature In situ Cross-Sectional TEM Investigation of Crystallization Process of Yttrium Stabilized Zirconia/Si and Yttrium Stabilized Zirconia/SiOx/Si thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Temperature In situ Cross-Sectional TEM Investigation of Crystallization Process of Yttrium Stabilized Zirconia/Si and Yttrium Stabilized Zirconia/SiOx/Si thin films

著者

和文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Materials Research

巻, 号, ページ

Vol. 20 No. 7 pp. 1878-1887

出版年月

2005年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI