Synthesis of Poly[N-(1-adamantyl)vinylsulfonamide-co- 2-(2-methyl)adamantyl methacrylate] for 193 nm Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Poly[N-(1-adamantyl)vinylsulfonamide-co- 2-(2-methyl)adamantyl methacrylate] for 193 nm Lithography

著者

和文:	T. Fukuhara, Y. Shibasaki, S. Ando, S. Kishimura, M. Endo, M. Sasago, M. Ueda.
英文:	T. Fukuhara, Y. Shibasaki, S. Ando, S. Kishimura, M. Endo, M. Sasago, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Macromolecules

巻, 号, ページ

Vol. 38 pp. 3041-3043

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI