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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜合成(第3報) 
英文: 
著者
和文: 近藤　好正, 斉藤　雅典, 斉藤　隆雄, 大竹　尚登.  
英文: 近藤　好正, 斉藤　雅典, 斉藤　隆雄, 大竹　尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 684
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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