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論文・著書情報


タイトル
和文:ECRスパッタ法による3次元ゲート構造上への高誘電率絶縁膜の形成 
英文: 
著者
和文: 森俊介, 中港努, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
英文: 森俊介, 中港努, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 980
出版年月 2005年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文:埼玉大学 
英文: 

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