High-rate synthesis of Diamond-like Carbon films by bipolar nanopulse chemical vapor deposition method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-rate synthesis of Diamond-like Carbon films by bipolar nanopulse chemical vapor deposition method

著者

和文:	Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Tatuya Terazawa, Naoto ohtake.
英文:	Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Tatuya Terazawa, Naoto ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005

巻, 号, ページ

Vol. CD-ROM pp. 14

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: