Preparation of Amorphous Carbon Films from Radical Species Using Surface Wave Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Amorphous Carbon Films from Radical Species Using Surface Wave Plasma

著者

和文:	Hiroki Akasaka, Masakazu Furukawa, Naoto Ohtake.
英文:	Hiroki Akasaka, Masakazu Furukawa, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005

巻, 号, ページ

Vol. CD-ROM pp. 6

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: