Fatigueless ferroelectric capacitors with ruthenium bottom and top electrodes formed by metalorganic chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fatigueless ferroelectric capacitors with ruthenium bottom and top electrodes formed by metalorganic chemical vapor deposition

著者

和文:	T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.
英文:	T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 44, Part 2 No. 12 pp. L378-L380

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI