ジルコニア系非晶質ゲート絶縁膜の構造と界面電気特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	ジルコニア系非晶質ゲート絶縁膜の構造と界面電気特性
英文:	Structure and Interface Electrical Characteristics of Zirconia Based Amorphous Gate Dielectrics

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 水谷惟恭, 篠崎和夫.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第18回秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	18th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 1H08 pp. 219

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第18回秋季シンポジウム
英文:

開催地

和文:	大阪府立大学　大阪
英文: