Y2O3-Ta2O5混合ドープZrO2ゲート絶縁膜の界面反応

論文・著書情報

タイトル

和文:	Y2O3-Ta2O5混合ドープZrO2ゲート絶縁膜の界面反応
英文:	Interfacial Reaction of ZrO2 Gate Dielectrics Co-doped with Y2O3 and Ta2O5

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2005年年会講演予稿集
英文:	Abstract book of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2005

巻, 号, ページ

pp. 299

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会2005年年会講演予稿集　第３０回セラミックスに関する顕微鏡写真展
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開催地

和文:	岡山大学
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